Dinamiskās skenēšanas optiskās sistēmas optika: 1 gab. maza fokusa lēca, 1–2 gab. fokusa lēca, Galvo spogulis. Visa optiskā lēca veido staru kūļa izplešanās, fokusēšanas un staru kūļa novirzes un skenēšanas funkciju.
Paplašinošā daļa ir negatīva lēca, t.i., maza fokusa lēca, kas realizē stara paplašināšanu un kustīgu tālummaiņu, fokusēšanas lēca sastāv no pozitīvu lēcu grupas. Galvo spogulis ir spogulis galvanometra sistēmā.
(1) Lēcas dizaina optimizācija: optimāla diametra un biezuma attiecība
(2) Objektīva augsta bojājuma slieksnis: > 30J/cm2 10ns
(3) Īpaši zemas absorbcijas pārklājums, absorbcijas ātrums: <20>
(4) Galvanometra biezuma un diametra attiecība: 1:35
(5) Objektīva virsmas precizitāte: <= λ/5
Postobjektīva lēca
| Maksimālā ieejas zīlīte (mm) | Optika 1 Diametrs (mm) | Optika 2 Diametrs (mm) | Optika 3 Diametrs (mm) | Skenēšanas lauks (mm) | Skaidra apertūra Skenera garums (mm) | Viļņa garums |
| 8 | 15 | 55 | 55 | 600x600 800x800 | 30 | 10,6 µm |
| 12 | 22 | 55 | 55 | 1600x1600 | 30 | |
| 8 | 16 | 55 | 55 | 600x600 800x800 | 30 | 1030–1090 nm |
| 8 | 15 | 35 | 35 | 300x300 | 10 | 532 nm |
| 8 | 15 | 35 | 35 | 300x300 | 10 | 355 nm |
Atstarotāja spogulis
| Daļas apraksts | Diametrs (mm) | Biezums (mm) | Materiāls | Pārklājums |
| Silīcija atstarotājs | 25.4 | 3 | Silīcijs | HR@10.6um,AOI: 45° |
| Silīcija atstarotājs | 30 | 4 | Silīcijs | HR@10.6um,AOI: 45° |
| Šķiedru atstarotājs | 25.4 | 6.35 | Kausētais silīcija dioksīds | HR@1030-1090nm, AOI: 45° |
| Šķiedru atstarotājs | 30 | 5 | Kausētais silīcija dioksīds | HR@1030-1090nm, AOI: 45° |
| Šķiedru atstarotājs | 50 | 10 | Kausētais silīcija dioksīds | HR@1030-1090nm, AOI: 45° |
| 532 Atstarotājs | 25.4 | 6 | Kausētais silīcija dioksīds | HR@515-540nm/532nm, AOI: 45° |
| 532 Atstarotājs | 25.4 | 6.35 | Kausētais silīcija dioksīds | HR@515-540nm/532nm, AOI: 45° |
| 532 Atstarotājs | 30 | 5 | Kausētais silīcija dioksīds | HR@515-540nm/532nm, AOI: 45° |
| 532 Atstarotājs | 50 | 10 | Kausētais silīcija dioksīds | HR@515-540nm/532nm, AOI: 45° |
| 355 Atstarotājs | 25.4 | 6 | Kausētais silīcija dioksīds | HR@355nm un 433nm, AOI: 45° |
| 355 Atstarotājs | 25.4 | 6.35 | Kausētais silīcija dioksīds | HR@355nm un 433nm, AOI: 45° |
| 355 Atstarotājs | 25.4 | 10 | Kausētais silīcija dioksīds | HR@355nm un 433nm, AOI: 45° |
| 355 Atstarotājs | 30 | 5 | Kausētais silīcija dioksīds | HR@355nm un 433nm, AOI: 45° |
Galvo spogulis
| Daļas apraksts | Maksimālā ieejas zīlīte (mm) | Materiāls | Pārklājums | Viļņa garums |
| 55 mm garums * 35 mm platums * 3,5 mm augstums un krustojums 62 mm garums * 43 mm platums * 3,5 mm augstums un dzeltenums | 30 | Silīcijs | MMR@10.6um | 10,6 µm |
| 55 mm garums * 35 mm platums * 3,5 mm augstums un krustojums 62 mm garums * 43 mm platums * 3,5 mm augstums un dzeltenums | 30 | Kausētais silīcija dioksīds | HR@1030–1090 nm | 1030–1090 nm |
| 55 mm garums * 35 mm platums * 3,5 mm augstums un krustojums 62 mm garums * 43 mm platums * 3,5 mm augstums un dzeltenums | 30 | Kausētais silīcija dioksīds | HR@532nm | 532 nm |
| 55 mm garums * 35 mm platums * 3,5 mm augstums un krustojums 62 mm garums * 43 mm platums * 3,5 mm augstums un dzeltenums | 30 | Kausētais silīcija dioksīds | HR@355nm | 355 nm |
Aizsarglēca
| Diametrs (mm) | Biezums (mm) | Materiāls | Pārklājums |
| 75 | 3 | ZnSe | AR/AR@10.6um |
| 80 | 3 | ZnSe | AR/AR@10.6um |
| 90 | 3 | ZnSe | AR/AR@10.6um |
| 90x60 | 5 | ZnSe | AR/AR@10.6um |
| 90x64 | 2.5 | ZnSe | AR/AR@10.6um |
| 90x70 | 3 | ZnSe | AR/AR@10.6um |
