Dinamiskās skenēšanas optiskās sistēmas optika: 1 gab. mazs fokusa objektīvs, 1-2 gab. fokusa objektīvs, Galvo spogulis. Visa optiskā lēca veido staru kūļa paplašināšanas, fokusēšanas un stara novirzes un skenēšanas funkciju.
Paplašināmā daļa ir negatīvs objektīvs, ti, maza fokusa objektīvs, kas realizē stara izplešanos un kustīgu tālummaiņu, fokusēšanas objektīvs sastāv no pozitīvo lēcu grupas. Galvo spogulis ir spogulis galvanometra sistēmā.
(1) Lēcas dizaina optimizācija: Optimāla diametra attiecība pret biezumu
(2) Objektīva augsta bojājuma slieksnis:>30J/cm2 10ns
(3) Īpaši zemas absorbcijas pārklājums, absorbcijas ātrums: <20 ppm
(4) Galvanometra biezuma un diametra attiecība: 1:35
(5) Lēcas virsmas precizitāte: <= λ/5
Pēcobjektīva lēca
Maksimālais ieejas skolēns (mm) | Optika 1 Diametrs (mm) | Optika 2 Diametrs (mm) | Optika 3 Diametrs (mm) | Skenēšanas lauks (mm) | Skaidra apertūra skenera (mm) | Viļņa garums |
8 | 15 | 55 | 55 | 600x600 800x800 | 30 | 10,6 mm |
12 | 22 | 55 | 55 | 1600x1600 | 30 | |
8 | 16 | 55 | 55 | 600x600 800x800 | 30 | 1030-1090 nm |
8 | 15 | 35 | 35 | 300x300 | 10 | 532 nm |
8 | 15 | 35 | 35 | 300x300 | 10 | 355 nm |
Atstarotājs Spogulis
Daļas apraksts | Diametrs (mm) | Biezums (mm) | Materiāls | Pārklājums |
Silikona atstarotājs | 25.4 | 3 | Silīcijs | HR@10.6um,AOI: 45° |
Silikona atstarotājs | 30 | 4 | Silīcijs | HR@10.6um,AOI: 45° |
Šķiedru atstarotājs | 25.4 | 6.35 | Kausēts silīcija dioksīds | HR@1030-1090nm,AOI: 45° |
Šķiedru atstarotājs | 30 | 5 | Kausēts silīcija dioksīds | HR@1030-1090nm,AOI: 45° |
Šķiedru atstarotājs | 50 | 10 | Kausēts silīcija dioksīds | HR@1030-1090nm,AOI: 45° |
532 Atstarotājs | 25.4 | 6 | Kausēts silīcija dioksīds | HR@515-540nm/532nm, AOI: 45° |
532 Atstarotājs | 25.4 | 6.35 | Kausēts silīcija dioksīds | HR@515-540nm/532nm, AOI: 45° |
532 Atstarotājs | 30 | 5 | Kausēts silīcija dioksīds | HR@515-540nm/532nm, AOI: 45° |
532 Atstarotājs | 50 | 10 | Kausēts silīcija dioksīds | HR@515-540nm/532nm, AOI: 45° |
355 Atstarotājs | 25.4 | 6 | Kausēts silīcija dioksīds | HR@355nm&433nm, AOI: 45° |
355 Atstarotājs | 25.4 | 6.35 | Kausēts silīcija dioksīds | HR@355nm&433nm, AOI: 45° |
355 Atstarotājs | 25.4 | 10 | Kausēts silīcija dioksīds | HR@355nm&433nm, AOI: 45° |
355 Atstarotājs | 30 | 5 | Kausēts silīcija dioksīds | HR@355nm&433nm, AOI: 45° |
Galvo spogulis
Daļas apraksts | Maksimālais ieejas skolēns (mm) | Materiāls | Pārklājums | Viļņa garums |
55mmL*35mmW*3,5mmT-X 62mmL*43mmW*3,5mmT-Y | 30 | Silīcijs | MMR@10.6um | 10,6 mm |
55mmL*35mmW*3,5mmT-X 62mmL*43mmW*3,5mmT-Y | 30 | Kausēts silīcija dioksīds | HR@1030-1090nm | 1030-1090 nm |
55mmL*35mmW*3,5mmT-X 62mmL*43mmW*3,5mmT-Y | 30 | Kausēts silīcija dioksīds | HR@532nm | 532 nm |
55mmL*35mmW*3,5mmT-X 62mmL*43mmW*3,5mmT-Y | 30 | Kausēts silīcija dioksīds | HR@355nm | 355 nm |
Aizsarglēca
Diametrs (mm) | Biezums (mm) | Materiāls | Pārklājums |
75 | 3 | ZnSe | AR/AR@10.6um |
80 | 3 | ZnSe | AR/AR@10.6um |
90 | 3 | ZnSe | AR/AR@10.6um |
90x60 | 5 | ZnSe | AR/AR@10.6um |
90x64 | 2.5 | ZnSe | AR/AR@10.6um |
90x70 | 3 | ZnSe | AR/AR@10.6um |