Dinamiskā skenēšanas optiskā sistēma Optika: 1PC Mazs fokusa objektīvs 、 1-2PC Fokusa objektīvs 、 Galvo spogulis. Viss optiskais objektīvs veido staru izplešanās, fokusēšanas un staru novirzes un skenēšanas funkciju.
Paplašinošā daļa ir negatīvs objektīvs, ti, mazs fokusa objektīvs, kas realizē staru izplešanos un kustīgu tālummaiņu, fokusēšanas objektīvs sastāv no pozitīvu objektīvu grupas. Galvo spogulis ir spogulis galvanometra sistēmā.
(1) Objektīva dizaina optimizācija: optimālā diametra un biezuma attiecība attiecība
(2) objektīva lieli bojājumu slieksnis:> 30J/cm2 10ns
(3) Īpaši zema absorbcijas pārklājums, absorbcijas ātrums: <20ppm
(4) Galvanometra biezums un diametra attiecība: 1：35
(5) objektīva virsmas precizitāte: <= λ/5
Pēc mērķa objektīvs
| Maksimālā ieejas skolēns (mm) | Optika 1 diametrs (mm) | Optika 2 diametrs (mm) | Optika 3 diametrs (mm) | Skenēšanas lauks (mm) | Notīrīt atveri no skenera (mm) | Viļņa garums |
| 8 | 15 | 55 | 55 | 600x600 800x800 | 30 | 10.6um |
| 12 | 22 | 55 | 55 | 1600x1600 | 30 | |
| 8 | 16 | 55 | 55 | 600x600 800x800 | 30 | 1030-1090nm |
| 8 | 15 | 35 | 35 | 300x300 | 10 | 532nm |
| 8 | 15 | 35 | 35 | 300x300 | 10 | 355 nm |
Atstarotāju spogulis
| Daļas apraksts | Diametrs (mm) | Biezums (mm) | Materiāls | Pārklājums |
| Silīcija atstarotājs | 25.4 | 3 | Silīcijs | HR@10.6um,Aoi: 45 ° |
| Silīcija atstarotājs | 30 | 4 | Silīcijs | HR@10.6um,Aoi: 45 ° |
| Šķiedru reflektors | 25.4 | 6.35 | Kausēts silīcija dioksīds | HR@1030-1090nm ， Aoi: 45 ° |
| Šķiedru reflektors | 30 | 5 | Kausēts silīcija dioksīds | HR@1030-1090nm ， Aoi: 45 ° |
| Šķiedru reflektors | 50 | 10 | Kausēts silīcija dioksīds | HR@1030-1090nm ， Aoi: 45 ° |
| 532 reflektors | 25.4 | 6 | Kausēts silīcija dioksīds | Hr@515-540nm/532nm, Aoi: 45 ° |
| 532 reflektors | 25.4 | 6.35 | Kausēts silīcija dioksīds | Hr@515-540nm/532nm, Aoi: 45 ° |
| 532 reflektors | 30 | 5 | Kausēts silīcija dioksīds | Hr@515-540nm/532nm, Aoi: 45 ° |
| 532 reflektors | 50 | 10 | Kausēts silīcija dioksīds | Hr@515-540nm/532nm, Aoi: 45 ° |
| 355 reflektors | 25.4 | 6 | Kausēts silīcija dioksīds | HR@355nm & 433nm, AOI: 45 ° |
| 355 reflektors | 25.4 | 6.35 | Kausēts silīcija dioksīds | HR@355nm & 433nm, AOI: 45 ° |
| 355 reflektors | 25.4 | 10 | Kausēts silīcija dioksīds | HR@355nm & 433nm, AOI: 45 ° |
| 355 reflektors | 30 | 5 | Kausēts silīcija dioksīds | HR@355nm & 433nm, AOI: 45 ° |
Galvo spogulis
| Daļas apraksts | Maksimālā ieejas skolēns (mm) | Materiāls | Pārklājums | Viļņa garums |
| 55mml*35mmw*3,5mmt-x 62mml*43mmw*3,5mmt-y | 30 | Silīcijs | MMR@10.6um | 10.6um |
| 55mml*35mmw*3,5mmt-x 62mml*43mmw*3,5mmt-y | 30 | Kausēts silīcija dioksīds | Hr@1030-1090nm | 1030-1090nm |
| 55mml*35mmw*3,5mmt-x 62mml*43mmw*3,5mmt-y | 30 | Kausēts silīcija dioksīds | Hr@532nm | 532nm |
| 55mml*35mmw*3,5mmt-x 62mml*43mmw*3,5mmt-y | 30 | Kausēts silīcija dioksīds | Hr@355nm | 355 nm |
Aizsargājošais objektīvs
| Diametrs (mm) | Biezums (mm) | Materiāls | Pārklājums |
| 75 | 3 | Znse | AR/AR@10.6um |
| 80 | 3 | Znse | AR/AR@10.6um |
| 90 | 3 | Znse | AR/AR@10.6um |
| 90x60 | 5 | Znse | AR/AR@10.6um |
| 90x64 | 2.5 | Znse | AR/AR@10.6um |
| 90x70 | 3 | Znse | AR/AR@10.6um |
